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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Control of internal stress of Co-Cr films deposited by facing targets sputtering 
著者
和文: 中川茂樹.  
英文: SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE Transactions on Magnetics 
巻, 号, ページ Vol. 26        pp. 1
出版年月 1990年 
出版者
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会議名称
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開催地
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