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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタ法による磁性膜作製におけるガス種の検討 
英文: 
著者
和文: 中川茂樹.  
英文: SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:表面技術 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 49    No. 10    pp. 1078-1082
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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