New Positive-Type Chemically Amplified Photosensitive Poly(phenylene ether):4  Partially tert-Butoxycarbonylated Poly(2-hydroxy-6-methyl- Phenol-co-2,6-dimethylphenol) with a Photoacid Generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	New Positive-Type Chemically Amplified Photosensitive Poly(phenylene ether):4 Partially tert-Butoxycarbonylated Poly(2-hydroxy-6-methyl- Phenol-co-2,6-dimethylphenol) with a Photoacid Generator

著者

和文:	Y. Sasada, M. Tamamura, Y. Shibasaki, M. Ueda.
英文:	Y. Sasada, M. Tamamura, Y. Shibasaki, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Photopolym.Sci.& Tech.

巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 51-54

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: