Dynamics of Micro-object Operation Considering the Adhesive Effect under an SEM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dynamics of Micro-object Operation Considering the Adhesive Effect under an SEM

著者

和文:	齋藤滋規, Hideki T. Miyazaki, Tomomasa Sato, Kunio Takahashi, Tadao Onzawa.
英文:	Shigeki Saito, Hideki T. Miyazaki, Tomomasa Sato, Kunio Takahashi, Tadao Onzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE Photonics Boston Intelligent Systems and Advanced Manufacturing 2001

巻, 号, ページ

pp. 12-23

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI