Low Voltage Operation of Nonvolatile Metal-Ferroelectric-Metal-Insulator-Semiconductor(MFMIS)-Field-Effect-Transistors(FETs) Using Pt/SrBi2Ta2O9/Pt/SrTa2O6/SiON/Si Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Voltage Operation of Nonvolatile Metal-Ferroelectric-Metal-Insulator-Semiconductor(MFMIS)-Field-Effect-Transistors(FETs) Using Pt/SrBi₂Ta₂O₉/Pt/SrTa₂O₆/SiON/Si Structures

著者

和文:	徳光永輔, 岡本浩次郎, 石原宏.
英文:	Eisuke Tokumitsu, Kojiro Okamoto, Hiroshi Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 40 No. 4B pp. 2917-2922

出版年月

2001年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI