Defects in heteroepitaxial CeO<sub>2</sub>/YSZ/Si(001) films by precise X-ray rocking curves distributions fitness

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Defects in heteroepitaxial CeO₂/YSZ/Si(001) films by precise X-ray rocking curves distributions fitness

著者

和文:	Chun-Hua Chen, Naoki Wakiya, Atsushi saiki, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Chun-Hua Chen, Naoki Wakiya, Atsushi saiki, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 21st International Conference on defects in Semiconductors

巻, 号, ページ

No. PB116 pp. 343

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: