Dynamics of Micro-object Operation Considering the Adhesive Effect under an SEM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dynamics of Micro-object Operation Considering the Adhesive Effect under an SEM

著者

和文:	Shigeki SAITO, Hideki T. MIYAZAKI, Tomomasa SATO, Kunio TAKAHASHI, Tadao ONZAWA.
英文:	Shigeki SAITO, Hideki T. MIYAZAKI, Tomomasa SATO, Kunio TAKAHASHI, Tadao ONZAWA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE Photonics Boston Intelligent Systems and Advanced Manufacturing 2001, 28 Oct - 2 Nov 2001, Newton, Massachusetts USA (in press)

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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