Microstructures of GaAs fabricated by finely focused ion eam lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Microstructures of GaAs fabricated by finely focused ion eam lithography

著者

和文:	T.Shiokawa, P.H.Kim, M.Hamagaki, T.Hara, Y.Aoyagi, K.Toyoda, S.Namba.
英文:	T.Shiokawa, P.H.Kim, M.Hamagaki, T.Hara, Y.Aoyagi, K.Toyoda, S.Namba.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Eng.,

巻, 号, ページ

Vol. 9 pp. 277

出版年月

1989年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: