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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Surface kinetics of laser atomic layer epitaxy(Laser-ALE)of GaAs,AlAs nad AlGaAs 
著者
和文: Y.Aoyagi, S.Iwai, T.Meguro.  
英文: Y.Aoyagi, S.Iwai, T.Meguro.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Denki Kagaku 
巻, 号, ページ Vol. 59        pp. 4152
出版年月 1991年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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