Room-temperature backbond oxidation of the porous silicon surface by oxygen radical irradiation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Room-temperature backbond oxidation of the porous silicon surface by oxygen radical irradiation

著者

和文:	P.O'Keeffe, Y.Aoyagi, S.Komuro, T.Kato, T.Morikawa.
英文:	P.O'Keeffe, Y.Aoyagi, S.Komuro, T.Kato, T.Morikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl.Phys.Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 66 pp. 836

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: