Tunable UV laser induced digital etching of GaAs:wavelength dependence of etch rate and surface processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tunable UV laser induced digital etching of GaAs:wavelength dependence of etch rate and surface processes

著者

和文:	T.Meguro, K.Sakai, Y.Yamamoto, T.Sugano, Y.Aoyagi.
英文:	T.Meguro, K.Sakai, Y.Yamamoto, T.Sugano, Y.Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl.Surf.Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 106 pp. 365

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: