High performance MFIS structure with sol-gel (Bi,La)4Ti3O12 ferroelectrics and Si3N4 buffer layer made by atomic nitrogen

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High performance MFIS structure with sol-gel (Bi,La)₄Ti₃O₁₂ ferroelectrics and Si₃N₄ buffer layer made by atomic nitrogen

著者

和文:	Y.Fujisaki, T.Kijima, H.Ishiwara.
英文:	Y.Fujisaki, T.Kijima, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	13th Intern. Sympo. on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs

巻, 号, ページ

No. 9.1.2I

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: