A new positive working alkaline developable photoresist based on a simple amorphous molecule, tri(3,5-di-tert-butoxycarbonyloxybenzyl) 1,3,5-benzenetricarboxylate and a photoacid generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A new positive working alkaline developable photoresist based on a simple amorphous molecule, tri(3,5-di-tert-butoxycarbonyloxybenzyl) 1,3,5-benzenetricarboxylate and a photoacid generator

著者

和文:	芝崎祐二.
英文:	Yuji Shibasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Photopolymer Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 2 pp. 275

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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