Effects of Oxidation and Annealing Temperature on Grain Boundary Properties in Polycrystalline Silicon Probed Using Nanometre-Scale Point-Contact Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Oxidation and Annealing Temperature on Grain Boundary Properties in Polycrystalline Silicon Probed Using Nanometre-Scale Point-Contact Devices

著者

和文:	Toshio Kamiya, Yoshikazu Furuta, Yong-Tsong Tan, Z.A.K. Durrani, Hiroshi Mizuta, Haroon Ahmed.
英文:	Toshio Kamiya, Yoshikazu Furuta, Yong-Tsong Tan, Z.A.K. Durrani, Hiroshi Mizuta, Haroon Ahmed.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solid State Phenomena

巻, 号, ページ

Vol. 93 pp. 4192

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: