Low-damage etched/regrown interface of strain-compensated GaInAsP/InP quantum-wire laser fabricated by CH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub> dry etching and regrowth

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low-damage etched/regrown interface of strain-compensated GaInAsP/InP quantum-wire laser fabricated by CH₄/H₂ dry etching and regrowth

著者

和文:	H. Yagi, K. Muranushi, N. Nunoya, T. Sano, S. Tamura, S. Arai.
英文:	H. Yagi, K. Muranushi, N. Nunoya, T. Sano, S. Tamura, S. Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 81 No. 6 pp. 966-968

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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