Observation of Plasma Rotation in Helium Inductively Coupled Plasma Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Observation of Plasma Rotation in Helium Inductively Coupled Plasma Source

著者

和文:	Hironobu Yabuta, Hidekazu Miyahara, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.
英文:	Hironobu Yabuta, Hidekazu Miyahara, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. XIV Int. Conf. on Gas Discharges and their Applications

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 12-15

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: