Development of Scanning Microwave Microscope for High-Throughput Characterization of Combinatorial Dielectric Thin Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Scanning Microwave Microscope for High-Throughput Characterization of Combinatorial Dielectric Thin Film

著者

和文:	N. Okazaki, P. Ahmet, T. Chikyow, H. Odagawa, Y. Cho, T. Fukumura, M. Kawasaki, M. Ohtani, H. Koinuma, T. Hasegawa.
英文:	N. Okazaki, P. Ahmet, T. Chikyow, H. Odagawa, Y. Cho, T. Fukumura, M. Kawasaki, M. Ohtani, H. Koinuma, T. Hasegawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. MRS Fall Meeting

巻, 号, ページ

pp. S3.7.1-S3.7.6

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: