Fast surface profiler by white-light interferometry by use of a new algorithm based on sampling theory

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fast surface profiler by white-light interferometry by use of a new algorithm based on sampling theory

著者

和文:	Hirabayashi Akira, Ogawa Hidemitsu, Kitagawa Katsuichi.
英文:	Hirabayashi Akira, Ogawa Hidemitsu, Kitagawa Katsuichi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Optics

巻, 号, ページ

Vol. 41 No. 23 pp. 4876-4883

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: