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論文・著書情報


タイトル
和文:サファイア基板の直接窒化により生成したalon-AlN二重膜構造の評価 
英文: 
著者
和文: 中尾　航, 福山博之, 永田和宏.  
英文: 中尾　航, 福山博之, 永田和宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本金属学会春期大会第130回講演概要集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 286
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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