Preferential resputtering phenomenon on the surface of (100)-oriented Ni-Pt films: Effect of substrate bias during sputter deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preferential resputtering phenomenon on the surface of (100)-oriented Ni-Pt films: Effect of substrate bias during sputter deposition

著者

和文:	J. Shi, R. Zhou, M. Hashimoto.
英文:	J. Shi, R. Zhou, M. Hashimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology A

巻, 号, ページ

Vol. 19 pp. 2979

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: