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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Mechanical vibration assisted plasma etching for etch rate and anisotropy improvement 
著者
和文: 早瀬仁則.  
英文: MASANORI HAYASE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Precision Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 26        pp. 442-447
出版年月 2002年 
出版者
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会議名称
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開催地
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