Nucleation and growth kinetics of AIN films on atomically smooth 6H-SiC (0001) surfaces

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nucleation and growth kinetics of AIN films on atomically smooth 6H-SiC (0001) surfaces

著者

和文:	Yamada S., Kato J., Tanaka S., Suemune I., Avramescu A.S., Aoyagi Y., Teraguchi N., Suzuki A..
英文:	Yamada S., Kato J., Tanaka S., Suemune I., Avramescu A.S., Aoyagi Y., Teraguchi N., Suzuki A..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 78 pp. 3612

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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