InP基板上AlInAsとGaAs基板の接着とその電気的特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	InP基板上AlInAsとGaAs基板の接着とその電気的特性
英文:	Wafer fusion of AlInAs on InP and GaAs and its electrical characteristics

著者

和文:	幼方龍太郎, 宮本智之, 大軒紀之, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	幼方龍太郎, Tomoyuki Miyamoto, 大軒紀之, FUMIO KOYAMA, 伊賀健一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

1996年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第57回応用物理学会学術講演会
英文:	The 57th Autumn Meeting of The Japan Society of Applied Physics

開催地

和文:	福岡
英文:	Fukuoka