有機V族MOCVD法によるAlAsへの高濃度炭素ドーピング

論文・著書情報

タイトル

和文:	有機V族MOCVD法によるAlAsへの高濃度炭素ドーピング
英文:	Carbon-doping to AlAs by MOCVD using organic group V precursors

著者

和文:	関口茂昭, 宮本智之, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	関口茂昭, Tomoyuki Miyamoto, FUMIO KOYAMA, 伊賀健一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

1997年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第44回応用物理学関連連合講演会
英文:	The 44th Spring Meeting of Japan Society of Applied Physics and Related Societies

開催地

和文:	千葉
英文:	Chiba