Si基板上におけるヘテロエピタキシャルSrTiO<sub>3</sub>/MgO薄膜の固定電荷プロファイルとその電荷量

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si基板上におけるヘテロエピタキシャルSrTiO₃/MgO薄膜の固定電荷プロファイルとその電荷量
英文:	Evaluation of trapped charge distribution and density in epitaxial SrTiO₃/MgO films on Si(001) substate

著者

和文:	山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2002年年会講演予稿集
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2002

巻, 号, ページ

No. 2A30 pp. 143

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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