Role of Ultra Thin SiO<sub>x </sub>Layer on Epitaxial YSZ/SiO<sub>x</sub>/Si Thin Film as Multi Functional Buffer Layer by Nano-probe and In-situ RTEM Investigation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Role of Ultra Thin SiO_xLayer on Epitaxial YSZ/SiO_x/Si Thin Film as Multi Functional Buffer Layer by Nano-probe and In-situ RTEM Investigation

著者

和文:	T.Kiguchi, N.Wakiya, K.Shinozaki, N.Mizutani.
英文:	T.Kiguchi, N.Wakiya, K.Shinozaki, N.Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Joint Conference on theApplications of Ferroelectrics 2002, Abstract book

巻, 号, ページ

No. 31G-TE2-10P pp. 348

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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