Si基板上におけるエピタキシャルPb(Mg1/3,Nb2/3)O3薄膜のバッファー構造とその誘電特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si基板上におけるエピタキシャルPb(Mg_1/3,Nb_2/3)O₃薄膜のバッファー構造とその誘電特性
英文:	Effective Buffer Structures and Dielectric Properties for Epitaxial Pb(Mg_1/3,Nb_2/3)O₃ Thin Films on Si Substrates

著者

和文:	山田智明･脇谷尚樹･篠崎和夫･水谷惟恭･近藤正雄･栗原和明.
英文:	山田智明･脇谷尚樹･篠崎和夫･水谷惟恭･近藤正雄･栗原和明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会電子材料部会第22回電子材料研究討論会講演予稿集
英文:	Extended Abstraccts of the 22nd Electronics Division Meeting

巻, 号, ページ

No. 1B03 pp. 24

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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