セラミックインテグレーション用PZT薄膜の表面組成制御による誘電特性の向上 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	セラミックインテグレーション用PZT薄膜の表面組成制御による誘電特性の向上
英文:

著者

和文:	水谷惟恭, 玄一, 包定華, 篠崎和夫, 脇谷尚樹.
英文:	水谷惟恭, 玄一, 包定華, 篠崎和夫, 脇谷尚樹.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第39回セラミックス基礎科学討論会講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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