非晶質YSZ層によるYSZ/SiO<sub>x</sub>/Siエピタキシャル薄膜のC-V特性の向上と可能性 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	非晶質YSZ層によるYSZ/SiO_x/Siエピタキシャル薄膜のC-V特性の向上と可能性
英文:

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	インテリジェント材料シンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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