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論文・著書情報
タイトル
和文:
RFマグネトロンスパッタリング法によるLaNiO
3
電極/BaTiO
3
積層薄膜コンデンサの試作と誘電特性
英文:
Preparation of LaNiO
3
/BaTiO
3
thin film multilayer capacitor deposited by RF-magnetron sputtering and its dielectric property
著者
和文:
横井博和, 脇谷尚樹, 篠崎和夫,
水谷惟恭
.
英文:
横井博和, 脇谷尚樹, 篠崎和夫,
水谷惟恭
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
第18回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:
18th Ceramic Research Conference of Kanto Branch of the Ceramic Society of Japan
巻, 号, ページ
No. 1B03 pp. 32
出版年月
2002年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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