Double-Polysilicon self-aligned HBT with non-selective epitaxial SiGe:C base layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Double-Polysilicon self-aligned HBT with non-selective epitaxial SiGe:C base layer

著者

和文:	T.Yamazaki, S.Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.
英文:	T.Yamazaki, S.Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Second International Workshop on New Group Ⅳ(Si‐Ge‐C)Semiconductors: Control of Properties and Applications to Ultra-high Speed and Opto‐Electronics Devices

巻, 号, ページ

Vol. June 2-4 No. (Yamanashi) pp. Ⅷ-006

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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