Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Extreme-ultraviolet Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Extreme-ultraviolet Lithography

著者

和文:	Tetsu KASAO, Mitsuo OKAMOTO, Inho SONG, Masato WATANABE, Akitoshi OKINO, Kazuhiko HORIOKA, Eiki HOTTA.
英文:	Tetsu KASAO, Mitsuo OKAMOTO, Inho SONG, Masato WATANABE, Akitoshi OKINO, Kazuhiko HORIOKA, Eiki HOTTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd International Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (BANPIS2003)

巻, 号, ページ

pp. 24

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: