SEM環境下マイクロマニピュレーションにおける電子線の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	SEM環境下マイクロマニピュレーションにおける電子線の影響
英文:	Effect of Electron Beam Irradiation in Micro-manipulation under Scanning Electron Microscope

著者

和文:	名越達彦, 齋藤滋規, 高橋邦夫, 恩澤忠男.
英文:	名越達彦, Shigeki SAITO, 高橋邦夫, 恩澤忠男.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 9th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics” (Mate 2003)

巻, 号, ページ

pp. 87-90

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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