SIサイリスタ電源を用いたEUV露光光源の開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	SIサイリスタ電源を用いたEUV露光光源の開発
英文:

著者

和文:	堀田栄喜, 宋仁皓, 岡本光男, 北出恵太, 林靖, 渡辺正人, 沖野晃俊, 安岡康一, 堀岡一彦.
英文:	堀田栄喜, 宋仁皓, 岡本光男, 北出恵太, 林靖, 渡辺正人, 沖野晃俊, 安岡康一, 堀岡一彦.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第16回SIデバイスシンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

Vol. SSID-03-6 pp. 37-42

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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