Z-Pinch Discharge Plasma EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:	Zピンチ型放電プラズマEUV光源の研究
英文:	Z-Pinch Discharge Plasma EUV Light Source

著者

和文:	Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka, Akitoshi Okino, Masato Watanabe, Koichi Yasuoka.
英文:	Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka, Akitoshi Okino, Masato Watanabe, Koichi Yasuoka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	EUV R&D Report

巻, 号, ページ

pp. 133-142

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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