Xe-filled Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Extreme-ultraviolet (EUV) Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Xe-filled Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Extreme-ultraviolet (EUV) Lithography

著者

和文:	I.H.Song, T.Kasao, M.Okamoto, M.Watanabe, A.Okino, K.Horioka, E.Hotta.
英文:	I.H.Song, T.Kasao, M.Okamoto, M.Watanabe, A.Okino, K.Horioka, E.Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE 2003 International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

Vol. 5PB17 pp. 371

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: