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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロマシンの制御手法 
英文: 
著者
和文: 三宅美博.  
英文: Yoshihiro Miyake.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:「マイクロマシンの基礎技術の研究」、（財）マイクロマシンセンター 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 721-824
出版年月 1996年 
出版者
和文:「マイクロマシンの基礎技術の研究」、（財）マイクロマシンセンター 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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