Mechanical vibration assisted plasma etching for etch rate and anisotropy improvement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical vibration assisted plasma etching for etch rate and anisotropy improvement

著者

和文:	Hatsuzawa Takeshi, Hayase Masanori, Oguchi Toshiaki.
英文:	Hatsuzawa Takeshi, Hayase Masanori, Oguchi Toshiaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 26 No. 4 pp. 442

出版年月

2002年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI