Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optic waveguide

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optic waveguide

著者

和文:	H. Yokoi, Y. Shoji, T. Mizumoto.
英文:	H. Yokoi, Y. Shoji, T. Mizumoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest on IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS

巻, 号, ページ

pp. 75-76

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: