Multiple-Quantum-Wire Structures with Good Size Uniformity Fabricated by CH<sub>4/H</sub>2 Dry Etching and Organometallic Vapor-Phase-Epitaxial Regrowth

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multiple-Quantum-Wire Structures with Good Size Uniformity Fabricated by CH_4/H2 Dry Etching and Organometallic Vapor-Phase-Epitaxial Regrowth

著者

和文:	T. Sano, H. Yagi, K. Muranushi, S. Tamura, T. Maruyama, A. Haque, S. Arai.
英文:	T. Sano, H. Yagi, K. Muranushi, S. Tamura, T. Maruyama, A. Haque, S. Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 42 No. 6A pp. 3471-3472

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: