Tapered-Capillary Pinch Plasma as a  Candidate for Bright EUV Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tapered-Capillary Pinch Plasma as a Candidate for Bright EUV Source

著者

和文:	C.Iida, F.Maejima, M.Nakajima, K.Horioka.
英文:	C.Iida, F.Maejima, M.Nakajima, K.Horioka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conf. Record-Abstracts

巻, 号, ページ

Vol. 03CH37470 pp. 372

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: