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論文・著書情報


タイトル
和文:2開口法によるレーザスペックル干渉計の測定精度 
英文:Measuring Accuracy of Laser Speckle Interferometor Using Pouble Aperture Method 
著者
和文: 岩附信行.  
英文: NOBUYUKI IWATSUKI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文:Journal of JSPE 
巻, 号, ページ Vol. 58        pp. 8
出版年月 1992年 
出版者
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会議名称
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開催地
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