Algorithm with optimum noise suppression for surface profiling by white-light interferometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Algorithm with optimum noise suppression for surface profiling by white-light interferometry

著者

和文:	Akira Hirabayashi, Y. Nakayama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa.
英文:	Akira Hirabayashi, Y. Nakayama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE Optical Manufacturing and Testing V, San Diego, California, USA

巻, 号, ページ

Vol. 5180

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: