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論文・著書情報


タイトル
和文:ホットワイヤーセル法による歪Si1-yCy薄膜の低温エピタキシャル成長およびMOSデバイスへの応用 
英文: 
著者
和文: 綿引達郎, 金井崇紘, 石原英恵, 阿部克也, 山田明, 小長井.  
英文: 綿引達郎, 金井崇紘, 石原英恵, 阿部克也, 山田明, 小長井.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第63回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 26a-P11-15       
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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