Effect of Post Dielectric Deposition and Post Metallization Annealing Processes on Metal/Dy<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si(100) Diode Characteristics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Post Dielectric Deposition and Post Metallization Annealing Processes on Metal/Dy₂O₃/Si(100) Diode Characteristics

著者

和文:	S. Ohmi, H. Yamamoto, J. Taguchi, K. Tsutsui, H. Iwai.
英文:	S. Ohmi, H. Yamamoto, J. Taguchi, K. Tsutsui, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 4B pp. 1873-1878

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI