超精密微細金型計測に向けたマルチスケール光形状計測法（パッチワークの総合） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	超精密微細金型計測に向けたマルチスケール光形状計測法（パッチワークの総合）
英文:

著者

和文:	笹島和幸.
英文:	KAZUYUKI SASAJIMA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第4回生産加工･工作機械部門講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 89-90

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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