Role of ultra thin SiO<sub>x</sub> layer on epitaxial YSZ/SiO<sub>x</sub>/Si thin film as multi functional buffer layer by nano-probe and in-situ TEM investigation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Role of ultra thin SiO_x layer on epitaxial YSZ/SiO_x/Si thin film as multi functional buffer layer by nano-probe and in-situ TEM investigation

著者

和文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Integrated Ferroelectrics

巻, 号, ページ

Vol. 45 pp. 89-96

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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