Controlling the Residual Stresses in PZT Thin Film by Introducing Different Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Controlling the Residual Stresses in PZT Thin Film by Introducing Different Buffer Layers

著者

和文:	Kazuo Shinozaki, Keisuke Fujito, Ayanori Endo, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Kazuo Shinozaki, Keisuke Fujito, Ayanori Endo, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	1st International Meeting on Ferroelectric Random Access Memories (FeRAM2001), Extended Abstracts of FeRAM2001

巻, 号, ページ

No. P10 pp. 97-98

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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