Leakage current suppression of Pt/ Bi4-XLaXTi3O12 /Ru capacitors by post-annealing of Ru films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Leakage current suppression of Pt/ Bi_4-XLa_XTi₃O₁₂ /Ru capacitors by post-annealing of Ru films

著者

和文:	T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.
英文:	T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	10th European Meeting on Ferroelectricity

巻, 号, ページ

No. S18-5

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: