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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fracture Toughness Tests of Thin Films for MEMS Applications 
著者
和文: 小山聡, K. Nakai, 高島 和希, 肥後 矢吉.  
英文: 小山聡, K. Nakai, KAZUKI TAKASHIMA, Y. Higo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Trans. Mat. Res. Soc. Japan 
巻, 号, ページ Vol. 28    No. 3    pp. 695-698
出版年月 2003年6月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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